تردد التشغيل: | 2450 ميجا هرتز | انتاج الطاقة: | 0.1 ~ 6 كيلو واط قابل للتعديل بشكل مستمر |
---|---|---|---|
استقرار الطاقة: | أفضل من ± 1٪ (@ حالة مصنفة) | واجهة الإخراج الموجي: | BJ-26/22 بشفة قياسية FD-26/22 |
مدخلات الطاقة: | 380VAC / 50Hz ، 3 مراحل 5 أسلاك ، 11kW | تدفق مياه التبريد: | 18 لتر / دقيقة |
معامل الموجة الدائمة للنظام: | VSWR ≤ 1.5 | تسرب الميكروويف: | يفي بالمعايير الوطنية |
الحجم وطريقة العمل: | Φ200 × 300 (H) وضع TM |
مولد الميكروويف والنظام | تردد التشغيل | 2450 ميجا هرتز |
انتاج الطاقة | 0.1 ~ 6 كيلو واط قابل للتعديل بشكل مستمر | |
استقرار القوة | أفضل من ± 1٪ (@ حالة مصنفة) | |
واجهة الإخراج الموجي | BJ-26/22 بشفة قياسية FD-26/22 | |
مدخلات الطاقة | 380VAC / 50Hz ، 3 مراحل 5 أسلاك ، 11kW | |
تدفق مياه التبريد | 18 لتر / دقيقة | |
معامل الموجة الدائمة للنظام | VSWR ≤ 1.5 | |
تسرب الميكروويف | يفي بالمعايير الوطنية | |
غرفة تفريغ فراغ الميكروويف | الحجم وطريقة العمل | Φ200 × 300 (H) وضع TM |
منطقة الترسيب الفعال | Φ50 ملم | |
نطاق التحكم في الضغط | 0.5 كيلو باسكال ~ 30 كيلو باسكال | |
دقة التحكم في الضغط | ± 15 باسكال | |
اكتساب الفراغ | نمو بلوري واحد | معدل النمو 10-15 ميكرومتر / ساعة ، سمك النمو المفرد 1.6 مم |
جودة بلورية واحدة | لا توجد عيوب تقريبًا بالعين المجردة | |
نظام الشفط | وضع الانفجار | املأ N2 |
أقصى درجة فراغ | أفضل than8 × 10-4Pa | |
معدل تسرب الفراغ | ≤10-9pA.m3 / ثانية | |
ارتفاع الضغط | متوسط ارتفاع الضغط 24 ساعة أقل من 1Pa / H |
نظام تدفق كتلة الغاز | صحة | 2٪ -100٪ FS ، ضغط داخلي0.2-0.3Mpa |
نوع ومدى الغاز | H2 (1SLM) ، CH4 (100SCCM) ، O2 (10SCCM) ، N2 (20SCCM) | |
نظام مرحلة العينة | قطر مرحلة العينة | Φ60mm ، مبرد بالماء ؛ |
مدى تعديل العينة جدول |
0 ~ 15 ملم | |
نطاق تعديل لوحة التجويف | 0 ~ 60 ملم | |
قياس درجة حرارة الركيزة | قياس درجة الحرارة بالأشعة تحت الحمراء نطاق |
600 ~ 1200 درجة مئوية (قياس درجة الحرارة بالأشعة تحت الحمراء) |
دقة التحكم في درجة الحرارة | دقة التحكم في درجة الحرارة ± 5 ℃ ؛ | |
نطاق التحكم في منطقة درجة حرارة ثابتة | فرق درجة الحرارة لكل نقطة من منصة الموليبدينوم 30 ℃ | |
واجهة الجهاز | مدخل ومخرج المياه | سلك خارجي G1 " |
توصيل الغاز | 1/4 "سلك خارجي VCR | |
واجهة تصريف العادم | سلك خارجي 3/4 بوصة | |
خط الكهرباء | TB4506 | |
مقاومة العزل | ≥5MΩ | |
الموثوقية | يجب ألا يقل وقت العمل المستمر والمستقر في ظل الظروف العادية عن 24 ساعة | |
إجمالي إمدادات الطاقة | 380VAC ± 5٪ / 50Hz ، 3phase5wire ، 13kW | |
إجمالي مياه التبريد | 34 لتر / دقيقة ، ماء نظيف ، درجة حرارة الماء الداخل 20 ℃ ± 5 ℃ ؛ ضغط الماء 0.2 ~ 0.4 ميجا باسكال | |
أبعاد | ~ 1.95 (طول) × 0.8 (عرض) × 1.90 (ارتفاع) م |